清华大学清华大学微纳加工中心新超净实验室启用

9月15日，清华大学微纳加工中心新超净实验室启用座谈会在自强科技楼举行。副校长吴华强出席并主持座谈会。

座谈会现场

吴华强表示，微纳加工中心要明确目标，做好发展规划，努力建设国际一流水平的标杆实验室，在服务学校教学与科研方面发挥更大作用。要进一步加强规范化管理，充分调研国内外高水平实验室、调研用户需求、调研新设备新实验手段，从空间应用、中心发展等方面做更细致的规划安排。

集成电路学院副院长、微纳加工中心主任唐建石汇报了新超净实验室建设和搬迁情况，以及中心下一步工作计划。微纳加工中心用户代表，集成电路学院教授任天令和为先书院副院长、材料学院教授宋成祝贺新超净实验室正式启用，希望中心不断进步，打造高水平科研平台。

基建处副处长杨军、实验室处副处长屠中华、资产处处长王玉英先后发言表示，将持续关注新超净实验室的建设运行，希望中心进一步发挥更大作用，逐步建成国际一流的实验平台。

集成电路学院相关负责人、微纳加工中心用户代表等30余人参加座谈会。

清华大学微纳加工中心是校级教学科研实验平台，新超净实验室拥有百级和千级的主超净间面积2000平方米，同时管理800余平方米的万级DIY实验室，可提供湿法与清洗、氧化、CVD、ALD、溅射蒸发、光刻、刻蚀、离子注入、封装、测试、真空互联等工艺与测试服务。

供稿：集成电路学院

编辑：李华山

审核：刘蔚如 郭玲