文章导读
9月15日，清华大学微纳加工中心新超净实验室正式启用！这座面积达2000平方米的百级、千级洁净空间，配备湿法清洗、光刻、刻蚀、ALD、真空互联等全链条工艺能力，将如何支撑芯片、材料等前沿科研突破？副校长吴华强强调：要打造国际一流标杆平台。从空间规划到用户需求，从设备升级到开放共享，这个校级核心实验室正加速迈向高水平运行。揭秘顶尖微纳制造背后的硬核实力，看清华如何夯实科技创新“地基”。
— 内容由好学术AI分析文章内容生成，仅供参考。
9月15日，清华大学微纳加工中心新超净实验室启用座谈会在自强科技楼举行。副校长吴华强出席并主持座谈会。
座谈会现场
吴华强表示，微纳加工中心要明确目标，做好发展规划，努力建设国际一流水平的标杆实验室，在服务学校教学与科研方面发挥更大作用。要进一步加强规范化管理，充分调研国内外高水平实验室、调研用户需求、调研新设备新实验手段，从空间应用、中心发展等方面做更细致的规划安排。
集成电路学院副院长、微纳加工中心主任唐建石汇报了新超净实验室建设和搬迁情况，以及中心下一步工作计划。微纳加工中心用户代表，集成电路学院教授任天令和为先书院副院长、材料学院教授宋成祝贺新超净实验室正式启用，希望中心不断进步，打造高水平科研平台。
基建处副处长杨军、实验室处副处长屠中华、资产处处长王玉英先后发言表示，将持续关注新超净实验室的建设运行，希望中心进一步发挥更大作用，逐步建成国际一流的实验平台。
集成电路学院相关负责人、微纳加工中心用户代表等30余人参加座谈会。
清华大学微纳加工中心是校级教学科研实验平台，新超净实验室拥有百级和千级的主超净间面积2000平方米，同时管理800余平方米的万级DIY实验室，可提供湿法与清洗、氧化、CVD、ALD、溅射蒸发、光刻、刻蚀、离子注入、封装、测试、真空互联等工艺与测试服务。
供稿：集成电路学院
编辑：李华山
审核：刘蔚如 郭玲
© 版权声明
本文由分享者转载或发布，内容仅供学习和交流，版权归原文作者所有。如有侵权，请留言联系更正或删除。
相关文章
暂无评论...